В процессе окраски готовых полупроводниковых приборов пульверизационным способом наблюдается загрязнение воздушной среды парами толуола в концентрациях от 0,066 до 0,11 мг/л.

Таким образом, лица, занятые в производстве полупроводниковых приборов, могут подвергаться воздействию токсической пыли, паров, газов, а также неблагоприятных физических факторов.

В то время как токсические свойства таких веществ, как свинец, двуокись кремния, толуол и некоторых других, встречающихся в производстве полупроводниковых приборов, хорошо известны, сведения о токсичности германия, галия, индия, сурьмы, также находящих применение в этом производстве, еще малочисленны.

Вместе с тем, несмотря на скудность этих сведений, они свидетельствуют о том, что указанные элементы и их соединения могут оказать неблагоприятное действие на организм работающих.

Экспериментальные исследования свойств пыли трех окиси сурьмы показали, что она вызывает развитие обратимых воспалительных и дистрофических процессов в слизистой оболочке верхних дыхательных путей, приводит к белковой и жировой дистрофии паренхиматозных органов, а также к дистрофическим изменениям в центральной нервной системе. У рабочих, подвергавшихся воздействию трехокиси сурьмы, были обнаружены функциональные изменения состояния верхних дыхательных путей и органа слуха в виде снижения обоняния и вкусовой чувствительности, нарушения двигательной функции гортани и снижения слуха (А. В. Лузина, 1961).

Результаты гигиенических исследований в производстве высокочастотных полупроводниковых приборов свидетельствуют о необходимости осуществления в производстве полупроводниковых приборов ряда санитар-по-оздоровитсльных мероприятий, из которых наиболее важным является максимальная механизация производства.