На главную страницу Форма обратной связи
EcoUniver.com
Статья подготовлена в сотрудничестве:
Разделы сайта
Неблагоприятных факторов на производстве полупроводниковых приборов. Загрязнение воздуха --- 
   

В процессе производства полупроводниковых приборов работающие могут подвергаться воздействию ряда неблагоприятных факторов.

На участке получения монокристаллнческого германия к их числу относятся: высокая температура на рабочих местах, достигающая 45° и выше; образование па рабочих местах электромагнитных полей с напряженностью электрического поля более 100 в/м и магнитного— свыше 25 а/м (при отсутствии экранирования индукционных катушек и фидерных линий); загрязнение воздуха водородистыми соединениями металлов.

Во время плавления германия с мышьяком в печи зонной плавки обнаруживается загрязнение воздуха мышьяковистым водородом в концентрациях, достигавших вблизи выхлопа печи, где производится сжигание избытка водорода, 0,003 мг/л, а на рабочем месте — 0,001 мг/л. Во время плавления германия с сурьмой концентрация сурьмянистого водорода у печи может достигать 0,0035 мг/л, а на рабочем месте — 0,0015 мг/л. Германиеводород при этих операциях не обнаруживается, что, по-видимому, связано с полным его сгоранием па выхлопе печи. Содержание же германия в воздухе при этом колеблется в пределах от 0,02 до 0,4 мг/м3.

высокая концентрация

На рабочем месте у печи вытягивания монокристаллов с добавлением сурьмы (после вскрытия печи), содержание сурьмянистого водорода в воздухе может иногда составлять от 0,00015 до 0,00045 мг/л.

Эти данные позволяют предположить, что при проведении плавки германия с другими металлами (индий, галлий) также возможно загрязнение воздуха их соединениями.

При часто повторяющейся операции очистки внутренней поверхности вертикальных печей и их частей от осаждающегося германия или кремния и их сплавов, которая производится вручную с помощью наждачной бумаги, запыленность в рабочей зоне составляет от 15,0 до 67,6 мг/м3, при этом содержание германия в воздухе достигает 7,0 мг/м3. Образующаяся при этой операции пыль является смешанной по своему составу и может наряду с германием включать в себя кремний, сурьму и другие элементы. В частности, содержание свободной двуокиси кремния в пыли достигает 30% по весу. Во время чистки печи, при сплаве, содержащем сурьму, концентрация последней в воздухе составляла от 0,03 до 0,24 мг/м3.

 
Другие наши статьи по экономике:

  • Спецодежда для работников
  • Процессы легирования. Окраска готовых полупроводниковых приборов
  • Откачка и вакуумная обработка приборов
  • Производство стекла. Факторами неблагоприятно влияющие на организм в машинно-ванных отделениях
  • Варка стекла. Факторами неблагоприятно влияющие на организм в машинно-ванных отделениях



  • Книги по экономике

    Copyright © 2009-2016. MedUniver.com
    Design by MedUniver.com