Комплекс операций, проводимых в процессе откачки, в принципе одинаков для всех электровакуумных приборов, независимо от их типа и конструкции. Он начинается с присоединения прибора откачной трубкой (штенгель) к вакуумной системе. На откачных постах это обычно производится вручную с помощью небольшой газовой горелки. Пламенем горелки нагревают отросток трубопровода, откачную трубку прибора и сваривают их между собой. Одномоментно цикл: откачки на посту может проходить (в зависимости от вида изделия) один прибор или партия приборов, которые вначале последовательно напаиваются на вакуумную систему (при изготовлении малоэффективных газоразрядных счетчиков, на откачном посту одновременно обрабатывается до 75 приборов).

После напаивания из приборов с помощью вакуумных насосов удаляют основную массу воздуха. Для откачки применяют насосы двух систем: ротационные масляные, которые создают разряжение до 10~4 мм рт. ст. и пароструйные (ртутные диффузионные, парортутные, паромасляные и фракционирующие насосы), которые могут создавать разряжение до 10~7 мм рт. ст. С помощью ротационных насосов в приборах создают предварительный вакуум, при котором давление понижается с атмосферного до нескольких миллиметров ртутного столба, а с помощью пароструйных насосов достигают высокого вакуума.

Все детали электровакуумных приборов содержат сорбированный газ. Выделение его при нагреве деталей в процессе эксплуатации прибора вредно отражается па долговечности последнего. Поэтому, наряду с откачкой воздуха из внутреннего объема прибора, требуется максимально удалять сорбированный газ и особенно водяной пар, поглощенный внутренними деталями прибора. Газы и пары поддаются удалению с большим трудом, так как детали приборов их прочно удерживают. Выделение газа происходит при повышении температуры твердого тела, поглотившего этот газ. Поэтому удаление сорбированных газов из стеклянной оболочки и металлических деталей приборов производят путем одновременного нагрева их до высокой температуры и откачки. Нагрев приборов чаще всего производится в электрических печах. Приборы с оболочкой из легкоплавкого стекла нагревают до температуры 300—350° С, а с оболочкой из тугоплавкого стекла — до 350—450°С и выше.

Прогреть внутренние металлические детали (электроды, поглотители) в приборе с помощью электрической печи невозможно и для этой цели используются токи высокой частоты (производство электронно-лучевых трубок, тиратронов и др.).

Кроме того, в процессе сборки большинства электровакуумных приборов, а также при их вакуумной обработке с помощью высокочастотного нагрева производят вакуумный отжиг деталей, распыление газопоглотителя, активацию катода, вскрытие ампул с инертными газами или ртутью внутри прибора, а также сваривают металл со стеклом.